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无机化工论文_正交设计法优化合成Ti_4AlN_3工

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文章摘要:以Ti、Al和TiN粉末为原料，采用正交设计法对真空热压合成Ti₄AlN₃的工艺参数进行优化，考察目标为Ti₄AlN₃的质量分数。采用L₂₅（5⁵）正交试验合成Ti₄AlN₃，以烧结温度、施压强度、保温时间、Al含量、TiN含量作为5个因素。利用X射线衍射仪（XRD）对烧结试样进行定性与定量分析。结果表明：最佳合成工艺条件为烧结温度为1400℃、施压强度为30MPa、保温时间为2h、Al含量为23.1at.%和TiN含量为55.1at.%。在此条件下，Ti₄AlN₃的质量分数最高为98.03 wt.%。

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论文DOI:10.13957/j.cnki.tcxb.2022.01.014

论文分类号:TQ174.6

文章来源：《真空科学与技术学报》网址: http://www.zkkxyjsxb.cn/qikandaodu/2022/0121/1111.html